클린룸

Clean Room

청정실(淸淨室) 또는 클린룸(Cleanroom)이란 공기 중 입자들의 집중이 제어되도록 지어졌으며, 먼지의 발생, 유입, 유보가 최소화되도록 되어 있고, 다른 관계된 파라미터들; 온도, 습도, 그리고 압력이 요구에 따라 제어되는 방을 의미한다.[1]

반도체 및 디스플레이를 만들기 위한 기본적인 생산 환경이다. 삼성 전자, LG 디스플레이, 하이닉스 등 IT 기기를 생산하는 모든 회사들의 제품들은 기본적으로 클린룸에서 생산된다. 그 외 식품의 생산, 의약품의 생산 및 연구와 같이 깨끗함을 요구하는 공간에도 사용된다.

이미 폐기되었으나 현재 가장 많이 사용하는 기준은 FED-STD-209D를 기준이다. 현재 공식적으로는 ISO 14644-1을 기준으로 한다. 단위는 일반적으로 단위 체적당 Particle의 갯수로 나타내며, FED-STD-209D와 ISO 14644-1간의 정의가 동일하여 이를 이용한 호환이 가능하다.